용인시 공고 제2025-3573호

반도체 소부장 실증화 장비 사용료 지원사업 공고

용인시 반도체 소·부·장 기업의 연구개발을 통한 원천기술 확보 및 기술역량 향상을 도모하기 위한 반도체 소·부·장 실증화 장비 사용료 지원사업을 다음과 같이 공고하오니 많은 참여 바랍니다.

2025. 12. 24.

용 인 시 장

1. 지원대상 : *반도체 소재·부품·장비 관련 기술개발을 위해 경기도 차세대융합기술연구원, 한국나노기술원, 한국기계연구원 **장비 이용이 필요한 용인시 소재 본사, 공장, 연구소 중 1개 이상 있는 반도체 ***중소·중견 ****소재·부품·장비기업

* 반도체 소재·부품·장비 분야란 웨이퍼 제조에서부터 노광, 식각, 증착, 세정, 패키징 등 전·후공정에 필요한 소재·부품·장비

** 장비는 붙임의 차세대융합기술연구원, 한국나노기술원, 한국기계연구원 장비 목록에 있는 대상

*** ‘중소기업’이란 「중소기업기본법」 제2조제1항 및 동법 시행령 제3조(중소기업의 범위)에 따른 기업

‘중견기업’이란 「중견기업 성장촉진 및 경쟁력 강화에 관한 특별법」 제2조에 의한 기업

**** ‘소재부품장비기업’이란 「소재·부품·장비산업 경쟁력 강화 및 공급망 안정화를 위한 특별조치법 시행령」 제2조의 ‘소재·부품 및 장비산업 대상 업종’ 분야의 제조기업

2. 지원내용 : 장비 사용료의 70%(업체당 최대 1,500만원 한도)(VAT 제외)

3. 공모기간 : ‘25. 12. 24.(수) ~ ‘26. 1. 16.(금) (24일간)

4. 사용기한 : ‘26. 12. 31.까지 장비 사용료 지원분

5. 지원절차

반도체정책과

사업공고 및 보조사업자 선정

⇒

반도체정책과

보조금 교부신청

⇒

반도체정책과

보조금 교부

⇒

연구기관

연구장비 사용

⇒

반도체정책과

완료보고 및

정산

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소부장기업

소부장기업

소부장기업

소부장기업

소부장기업

6. 제외대상

가. 서류에 허위 또는 하자가 있을 경우

나. 정부 ․ 타 지자체 또는 유관기관으로부터 차세대융합기술연구원, 한국나노기술원, 한국기계연구원 장비 사용료에 대한 지원을 받는 경우(중복지원 불가)

다. 「중소기업기본법」상 중소기업 또는 「중견기업 성장촉진 및 경쟁력 강화에 관한 특별법」상 중견기업에 해당하지 않는 경우

라. 「소재·부품·장비산업 경쟁력 강화 및 공급망 안정화를 위한 특별조치법」에 따른 소재·부품·장비기업 범위에 해당되지 않는 경우

마. 「기초연구진흥 및 기술개발지원에 관한 법률」에 따른 기업부설연구소 또는 연구개발전담부서를 보유하고 있지 않은 경우

바. 보조금 사업 완료 전 사업소재지를 용인시 관외로 이전한 경우

사. 국세·지방세 체납 업체

아. 반도체 소부장 관련 기술개발 역량이 현저히 부족하거나, 관련성이 없는 경우

자. 사업계획서에 명시한 당초 목적과 다르게 사용한 경우
(단, 기술개발을 위한 장비 목록 변경은 제외)

7. 신청 및 구비서류

가. 접수기간 : ‘25. 12. 24.(수) ~ ‘26. 1. 16.(금) 18:00

나. 구비서류 : 신청서, 신청서상 첨부서류, 중소기업확인서(해당시) 1부,
중견기업확인서(해당시) 1부, 공장등록증명서 1부, 기업부설연구소 인정서 또는 연구개발전담부서 인정서 1부.

다. 신청방법 : 직접 방문 또는 전자우편 접수

- 주소 : 용인시 처인구 중부대로 1199, 14층 반도체정책과 반도체기술지원팀

- 전자우편 : hs88@korea.kr

※ 제출된 서류는 일체 반환하지 않음

※ 장비 사용료는 차세대융합기술연구원, 한국나노기술원, 한국기계연구원(이하 연구기관)의 사정에 따라 변동될 수 있으며, 보조금 지원금액은 최종 확정된 연구기관의 사용료를 기준으로 함

8. 문의

가. 사업신청 : 용인시 반도체정책과 반도체기술지원팀(☎ 6193-2757)

나. 장비사용문의

- 차세대융합기술연구원 홈페이지 : aict.snu.ac.kr(장비별 담당자 문의)

- 한국나노기술원 홈페이지 : www.kanc.re.kr(장비별 담당자 문의)

- 한국기계연구원 홈페이지 : www.kimm.re.kr(장비별 담당자 문의)

붙임  1. 경기도 차세대융합기술연구원 장비 목록 1부.

2. 한국기계연구원 장비 목록 1부.

3. 한국나노기술원 장비 목록(별첨) 1부.  끝.

붙임1		’26년 차세대융합기술연구원 장비목록

보유 장비
구분	연번	장비명
구조분석	1	집속이온빔 주사전자현미경1(FIB-SEM1)
	2	집속이온빔 주사전자현미경2(FIB-SEM2)
	3	플라즈마집속이온빔 주사전자현미경 (Plasma FIB)
	4	주사전자현미경(FE-SEM)
	5	수차보정투과전자현미경 (Cs corrector TEM)
	6	나노해상도 엑스레이 이미징시스템(3D-CT)
	7	전면 광자/열 검출 시스템(EMMI)
표면분석	8	X-선광전자분광분석기(XPS)
	9	오제이전자분광분석기 (AES)
	10	X-선회절분석기(XRD)
	11	비행시간형 이차이온 질량분석(TOF-SIMS)
	12	고분해능 광전자 분광 클러스터 (ARPES)
	13	나노스케일 광전자 분광 현미경(NanoESCA)
	14	300mm웨이퍼대응 원자힘현미경(AFM)
열광학분석	15	열중량분석기(TGA)
	16	시차주사열량분석기(DSC)
	17	열전도율측정기(TCI)
	18	적외선분광분석기(FT-IR)
	19	적외선분광분석기 벤치형(FT-IR)
	20	동적열재료측정기 (DTIM)
신뢰성평가	21	온도사이클시험 (TC)
	22	온습도바이어스평가 (THB)
	23	고가속스트레스시험평가 (uHAST)
	24	고온오븐 (Storage bake)350 ℃
	25	튜브퍼니스1200 ℃
	26	고온퍼니스1800 ℃
	27	표면계면부착물성시험기 (SCICAS)
	28	고속접합강도 시험기
공동개발지대	29	열증발증착장비(Thermal Evaporator)
	30	Sputtering system
	31	Mask aligner
	32	Wet station
	33	Probe station & 4 Point system
	34	UV-VIS-NIR spectrometer
	35	Glove box
	36	전기화학계측기(Potentiostat)
	37	접촉식표면단차측정기(Alpha step)
	38	전자파차폐평가 무반향실 및 측정 시스템
	39	전자파 간섭 (EMI) 차폐 평가설비 2종
	40	디스펜서
	41	플라즈마세정기

※ 장비 사용료는 차세대융합기술연구원의 사정에 따라 변동될 수 있으며, 보조금 지원금액은 최종 확정된 차세대융합기술연구원의 장비 사용료를 기준으로 합니다.

붙임2		’26년 한국기계연구원 공동활용장비 목록

명칭	세부내역	기준	사용료(할인전)	사용료(30%할인)	활용문의 (@kimm.re.kr)
가스크로마토그래프- 질량분석기(GC-MS)	측정료	시간당	100,000원(직접사용)	70,000원(직접사용)	jmh2407
			200,000원(측정의뢰)	140,000원(측정의뢰)
질소산화물 가스분석기 (NOx Gas Analyzer)	측정료	시간당	50,000원(직접사용)	35,000원(직접사용)	jmh2407
			100,000원(측정의뢰)	70,000원(측정의뢰)
Laser Droplet Analyzer (Spraytec)	측정료	시간당	200,000원(직접사용)	140,000원(직접사용)	jmh2407
			400,000원(측정의뢰)	280,000원(측정의뢰)
푸리에변환 적외선 분광분석기(FT-IR)	측정료	시간당	50,000원(직접사용)	35,000원(직접사용)	jmh2407
			100,000원(측정의뢰)	70,000원(측정의뢰)
Langmuir probe	임피던스社	시간당	200,000	140,000	dwkim
	* 플라즈마 특성 측정 평가조건 사전 협의
Cutoff probe	자체개발	조건당	70,000	49,000	dwkim
	* 플라즈마 전자밀도 측정 평가조건 사전 협의
미세 전자기파 미터	미세 전자기파 측정	시간당	100,000	70,000	dwkim
	* 전자기파 평가조건 사전 협의
OES	Ocean optics	시간당	100,000	70,000	dwkim
	* 플라즈마 광 특성 측정 평가조건 사전 협의
박막 투습도 측정 장비 (Water Vapor Transmission Rate Tester)	측정료	건당 (2개시료)	200,000	140,000	ljycj12
	측정 면적 1, 5, 50 cm2
YLR-1500 1.6kW Fiber Laser	장비 운용요금	시간당	200,000원	140,000원	khs
Ultrafast Yb Oscillator for module type	장비 운용요금	시간당	200,000원	140,000원	jchoi
고정밀 3D 레이저 용접기	장비 운용요금	시간당	500,000원	350,000원	khs
전자빔 용접기 시스템	장비 운용요금	시간당	500,000원	350,000원	jokim
3D 용접용 고출력 레이저 광원	장비 운용요금	시간당	200,000원	140,000원	hwkim1
고출력 레이저 융합가공기	장비 운용요금	시간당	500,000원	350,000원	shahn
고해상도 공초점 현미경	측정 요금	시간당	100,000원	70,000원	gun

※ 장비 사용료는 한국기계연구원의 사정에 따라 변동될 수 있으며, 보조금 지원금액은 최종 확정된 한국기계연구원의 사용료를 기준으로 합니다. 사업신청 전 한국기계연구원의 장비 담당자(활용문의 이메일)에 반드시 문의해 주시기 바랍니다.